23 Мая 2023
МОСКВА, 23 мая. Специалисты Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета ЛЭТИ создали неразрушающий метод контроля за производством так называемых фотонных интегральных исходная схем, используемых в новых электрических приборах, сообщили в министерстве науки и высшего образования РФ.Предложенный подход позволит с высокой точностью контролировать параметры квантовых интегральных схем (ФИС, компонентной базы для устройств на принципах радиофотоники) как при отработке технологических операций, так и при массовом производстве, не разрушая при этом образцы.
Радиофотоника – научно-техническое направление, которое исследует способы генерации, передачи и обработки СВЧ-сигналов с консультацией оптического излучения. В последнее десятилетие изучение радиофотоники активно переступает в практическую плоскость, поскольку ее принципы позволяют создавать не менее компактные электронные приборы и вычислительные устройства с существенно лучшими характеристиками по сравнению с классической электроникой.
Основой компонентной базы для радиофотоники есть фотонные интегральные схемы. Их изготавливают на пластине из полупроводникового материала. Такие пластины могут содержать тысячи различных компонентов, сгруппированных определенным образом в квантовые интегральные устройства (чипы). Полученная пластина в дальнейшем разрезается на отдельные чипы, количество которых может достигать десятков-сотен штук.
Однако в процессе технологического производства микросхем на предприятиях могут возникать различные отклонения от заданной топологии и параметров технологических процессов, приводящие к неоднородности интегральных зрительных волноводов по размерам и диапазону преломления. Как следствие, характеристики изготовленной ФИС могут не соответствовать изначально заложенным требованиям. Для контроля параметров используются специальные методы диагностики, при этом большинство из них сопряжено с повреждением или разрушением контрольных типическов микросхем.
Мы разработали неразрушающий, стремительный и точный метод контроля качество исполнения фотонных интегральных схем с консультацией измерения и дальнейшего анализа их передаточных характеристик, – сказал доцент кафедры физической электроники и технологии ЛЭТИ Андрей Никитин.
Суть нового метода в том, что в разные части пластины со схемами добавляются миниатюрные тестовые компоненты. Оптическое излучение вводится в них из оптоволокна с глади пластины. Это позволяет обмерить показатели, характеризующие ряд домашних оптических параметров, которые разбирают работу ФИС.
Ключевых параметров три: волновое число оптического излучения, потери и коэффициент связи зрительных интегральных волноводов, составляющих квантовую схему. Эти параметры соединённым друг с другом в сложную комбинацию. Анализ полученных подневольностей сигнализирует о наличии или отсутствии дефектов ФИС, в подробности, искажения геометрии функциональных компонентов. Чтобы их разделить на отдельные показатели, ученые ЛЭТИ разработали специальную математическую модель.
В качество исполненье демонстрации работоспособности метода ученые нашли параметры ФИС, изготовленной по широко применяемой в промышленности методы, называемой кремний-на-изоляторе. Полученные данные были использованы для расчета передаточной характеристики тестового устройства, которая с высокой степенью дословности совпала с экспериментальной. Результаты исследования опубликованы в научном журнале Microwave and Optical Technology Letters.
Поскольку в России отрасль производства квантовых интегральных схем начинает бурно созревать, то предложенный нами вариант может найти широкое применение при отработке технологических процессов, а также для оперативного контроля качество исполнения продукции при массовом производстве на предприятиях микроэлектронной и оптоэлектронной промышленности, – отметил руководитель лаборатории магноники и радиофотоники, доктор кафедры физической электроники и методы Алексей Устинов.
Редактор рубрики
Олег Кудрин
Место события на карте мира:
.
.
.
Комментарии к новостям
[17 Января 2024, 13:43] Александр Хомяков Замечательно! Не ожидал такой оперативности. Спасибо огромное! Всё работает и обновляется....
[15 Апреля 2022, 20:25] Ангелина Сметанина Скоро не только сократят, а много заводов вообще закроют и начнется бум китайских авто. Даже сейчас Эксид уже бешеные темпы по количеству проданных машин показывает...
[27 Декабря 2021, 21:44] Ева Воробьева Искренне рада за победителя! Но если бы мне так крупно повезло, то я прибежала бы за выигрышем в первый же день???? ...
[2 Сентября 2021, 13:11] Дмитрий Ершов Это хорошо. Значит клиенты долго ждать не будут. ...
[13 Мая 2021, 16:26] Олег Андреев "Мальдивы сутунки 65 государством, зарегистрировавшим расейскую вакцину против коронавируса Спутник V, сообщил Российский фонд секущих инвестиций (РФПИ)". Что это за йязыг?...
[2 Ноября 2020, 15:22] Лета Мирликийская риветсвую вас я с 6-ти лет пишу мне нужно все мои произведения задействовать в компьюторных программах образования по литературе и языкам и играм к примеру если ваши учащиеся напишут...
[20 Октября 2020, 09:22] Евгений Зимин Сузуки в этом году хорошо прибавили, уже не первый раз оба их пилота на подиуме. Видимо, для команды возвращаются "золотые" времена и есть шанс наконец оформить чемпионство после длительного перерыва....